三维光学轮廓仪在光学领域的解决方案

文档简介光学元件在各个领域都有广泛应用，对光学元件的表面加工精度提出越来越高的要求。如何检测光学元件的加工精度，从而用于优化加工方法，保证ZZ元器件的性能指标，是光学元件加工领域的关键问题之一。
光学元件的加工精度包括表面质量和面型精度，这些参数会影响其对光信号的传播，进而影响ZZ器件的性能。此外，各种新型光学元件也需要检测其表面轮廓，比如非球面，衍射光学元件，微透镜阵列等。除了ZZ光学元件的加工精度以外，各种光学元件加工工艺也需要检测中间过程的三维形貌以保证ZZ产品的精度，包括注塑、模压的模具，光学图案转印时的掩膜版，刻蚀过程的图案深度、宽度等。