上海致东太阳能积分式反射仪+氮化

With or without texture
With or without AR coating on texture
标准片具有特殊表面粗糙度处理
适用于表面粗糙度大之Sample
量测Sorlar Cell反射率，抗反射层（减反层）膜厚，量测时间1-3秒
软件可分为Engineer Mode & operator Mode适合在线检测
载台具有抗酸碱腐蚀之能力（适用于制绒过程之监控）-Option
硅片片源检测

制绒工艺**化

减反膜工艺**化

光谱范围：350-1050nm

量测时间：<10sec

再现性：≦±1%