| 型号 | C10346-01 |
|---|---|
| 波长范围 | 200 nm to 950 nm |
| 波长精度 | ±0.75 nm |
| 波长分辨率 (FWHM) | <2 nm |
| 电源 | AC100 V to AC240 V (50 Hz/60 Hz) |
| 功耗 | Approx. 70 VA |
| 数字输出端子（确定信号输出） | TTL maximum 5 channel (3 channels maximum when measurement trigger signal is used |
| 数字输入端子（启动测量触发信号） | TTL 1 channel Using TTL 5 channel |
| 数字输出端子（忙信号） | TTL 1 channel Using TTL 4 channel |
| 模拟输出端子 | 2 channel 0 V to 10 V |
| 光纤探头 | SMA |
| 沟通界面 | USB2.0 |
多波段等离子加工监控器C10346-01是专门用于监视半导体各种制造工艺（包括蚀刻，溅射，清洁和CVD）过程中产生的光学等离子体发射的系统。 MPM可以实时处理多通道记录和监测。
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