多波段等离子加工监控器 C10346-01产品样册

2020-03-10583

资料简介：
多波段等离子加工监控器C10346-01是专门用于监视半导体各种制造工艺（包括蚀刻，溅射，清洁和CVD）过程中产生的光学等离子体发射的系统。 MPM可以实时处理多通道记录和监测。

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