多波段等离子加工监控器 C10346-01产品样册

文档简介 多波段等离子加工监控器C10346-01是专门用于监视半导体各种制造工艺（包括蚀刻，溅射，清洁和CVD）过程中产生的光学等离子体发射的系统。 MPM可以实时处理多通道记录和监测。