PECVD/CVD系列 RTP系列 产品列表
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- RTP-小型快速退火炉
- 品牌：中环
- 型号： RTP-小型快速退火炉
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- RTP-滑动式快速退火炉
- 品牌：中环
- 型号： RTP-滑动式快速退火炉
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- 1200℃双温区CVD系统
- 品牌：中环
- 型号： 1200℃双温区CVD系统
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- 1200℃滑动式单温区/双温区/三温区CVD系统
- 品牌：中环
- 型号： 1200℃滑动式单温区/双温区/三温区CVD系统
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- 1200℃双管滑动式单温区/多温区CVD系统
- 品牌：中环
- 型号： 1200℃双管滑动式单温区/多温区CVD系统
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- 1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统
- 品牌：中环
- 型号： 1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统
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- 1200℃预加热滑动双温区/多温区PECVD系统
- 品牌：中环
- 型号： 1200℃预加热滑动双温区/多温区PECVD系统
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- 1200度小型PECVD系统
- 品牌：中环
- 型号： 1200度小型PECVD系统
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- 1200℃集成型自动小型PECVD系统
- 品牌：中环
- 型号： 1200℃集成型自动小型PECVD系统
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