1200℃集成型自动小型PECVD系统

系统型号

PECVD-12IH-500A

PECVD-12IH-4Z/G

控制方式

液晶屏微PLC控制系统

手动

最高温度

1200℃

加热区长度

200mm

恒温区长度

100mm

温区

单温区

石英管管径

Φ60mm

Φ50mm

额定功率

1.2Kw

2Kw

额定电压

220V

滑动方式及距离

自动滑动;200mm

手动滑动;200mm

温度控制

30段程序控温

50段程序控温

控制精度

±1℃

炉管最高工作温度

＜1200℃

气路法兰

采用多环密封技术卡箍快速连接

排风冷却装置

先进的空气隔热技术，结合热感应技术，当炉体表面温升到50℃时，

排温风扇将自动启动，使炉体表面快速降温。

气体控制方式

质量流量计（按键式）

气路数量

2路（2-4路）

4路（可根据具体需要选配气路数量）

流量范围

0-500sccm(标准毫升/分，可选配）氮气标定

精度

±1%F.S

响应时间

1sec

工作温度（流量计）

20-120℃

工作压力

进气压力0.05-0.3Mpa(表压力）

进气方式

采用防倒流设计

规格

中真空（集成型请单独购买）

系统真空范围

10Pa-100Pa

真空泵

双级机械泵理论极限真空度3x10-1Pa，抽气速率4L/S（选配：其他抽速真空泵）,出气口配有油污过滤器，额定电压220V，功率0.55Kw

信号频率

13.56MHz±0.005%

功率输出范围

0W-500W

0W-100W

最大反射功率

350W

30W

射频输出接口

50Ω，N-type,temale

功率稳定度

±0.1%

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流（187V-253V)频率50/60HZ

整机功率

≥70%

屏幕显示

正方向功率，匹配器电容位置，偏置电压值

炉体外形尺寸

290×350×340mm

290×350×495mm

系统外形尺寸

420×1440×1100mm

530×2310×750mm

系统总重量

270Kg