薄膜半导体材料制备系统产品列表
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- 快速退火炉
- 品牌:ECOPIA
- 型号: RTP
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- 多功能镀膜系统
- 品牌:美国Rocky Mountain
- 型号: DGN
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- 超高真空磁控溅射系统
- 品牌:美国PVD
- 型号: COS 440
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- 派瑞林镀膜设备
- 品牌:美国Rocky Mountain
- 型号: PRL
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- 反应离子刻蚀系统
- 品牌:美国Rocky Mountain
- 型号: RIE
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- 等离子体增强原子层沉积系统
- 品牌:美国Rocky Mountain
- 型号: PEALD
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- 金属有机化合物化学气相沉积
- 品牌:美国Rocky Mountain
- 型号: MOCVD
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- 电子束蒸发镀膜系统
- 品牌:美国PVD
- 型号: E-Beam Evaporator System
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- 超高真空多腔室物理气相沉积系统
- 品牌:美国PVD
- 型号: 4000
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- 等离子体增强化学气相沉积系统
- 品牌:美国PVD
- 型号: G 4000
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- 脉冲激光分子束外延系统
- 品牌:美国PVD
- 型号: PLD-MBE-2100
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- 脉冲激光沉积系统
- 品牌:美国PVD
- 型号: PLD-1000
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- 狭缝挤出型涂布机
- 品牌:韩国DCN
- 型号: Slot Die Coater