伯东Pfeiffer氦质谱检漏仪ASM340 用于电磁阀检漏

2021-05-20200

精密零件供应商生产的电磁阀阀芯, 经过镭射焊接后, 怀疑焊缝存在微小的泄漏, 单个阀芯zui终漏率需要低于 5-10 mbar l/s，经过伯东推荐 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 对其生产的电磁阀阀芯检漏.

氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:

型号	ASM340	ASM340 D	ASM340 I
对氦气的Z小检检漏率	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s
检测模式	真空模式和吸枪mo式	真空模式和吸枪mo式	真空模式和吸枪mo式
检测气体	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
启动时间 min	3	3	3
对氦气的抽气速度 l/s	2.5	2.5	2.5
进气口Zda压力 hPa	25	25	5
前级泵抽速 m3/h	油泵 15	隔膜泵 3.4	不含前级泵
重量 kg	56	45	32

氦质谱检漏仪 ASM340 优点:

1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s

3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检检漏率：

真空模式：5E-13 Pa m3/s

吸枪mo式：5E-10 Pa m3/s 目前业界公认Z小漏率

4. 移动式操作面板（有线、无线）

5. 集成SD卡, 方便资料处理

6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性

7. 丰富的可选配件, 如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等

8. 检测时间短

待检漏产品及检漏示意图:

氦质谱检漏仪电磁阀检漏

由于半导体工业上用的气体如矽烷 SiH4, 氨气 NH3 等等都是有毒或有腐蚀性的气体, 所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格.

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上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
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