Pfeiffer氦质谱检漏仪ASM340D用于长晶炉设备检漏

2021-05-20261

浙江某 CVD 人造钻石制造商采用伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 对其 CVD 钻石生产设备长晶炉检漏, 客户采用负压法对 Seki 长晶炉设备真空腔和气体供应系统进行检漏, 经过泄漏检测, 生产的人造钻石可以匹配甚至超过天然钻石的质量和特性！

氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:

型号	ASM340	ASM340 D	ASM340 I
对氦气的Z小检检漏率	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s
检测模式	真空模式和吸枪mo式	真空模式和吸枪mo式	真空模式和吸枪mo式
检测气体	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
启动时间 min	3	3	3
对氦气的抽气速度 l/s	2.5	2.5	2.5
进气口Zda压力 hPa	25	25	5
前级泵抽速 m3/h	油泵 15	隔膜泵 3.4	不含前级泵
重量 kg	56	45	32

氦质谱检漏仪 ASM340 优点:

1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s

3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检检漏率：

真空模式：5E-13 Pa m3/s

吸枪mo式：5E-10 Pa m3/s 目前业界公认Z小漏率

4. 移动式操作面板（有线、无线）

5. 集成SD卡, 方便资料处理

6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性

7. 丰富的可选配件, 如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等

8. 检测时间短

待检漏产品:

氦质谱检漏仪 CVD 钻石长晶炉检漏

长晶炉设备需要检漏:

在 CVD 过程中, 将一片薄的金刚石种子 ( 通常是天然的金刚石) 放置在密封室中, 加热到 800摄氏度左右. 然后通入富碳气体 ( 通常是甲烷 ) 和其他气体. 如果密封室或者气体供应系统有漏, 直接影响原子沉积, 导致无法形成钻石或质量不佳.

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                   M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw