热场发射扫描电子显微镜JSM-7610FPlus

二次电子像分辨率 0.8 nm（加速电压 15 kV），1.0 nm（加速电压 1 kV ）

分析时 3.0 nm (加速电压 15 kV, WD 8 mm, 探针电流 5 nA ) 

倍率 Direct magnification:  x25 to 1,000,000（120 x 90 mm）

Display magnification:  x75 to 3,000,000（1,280 x 960 pixels） 

加速电压 0.1 ～ 30 kV 

探针电流 数 pA ～ 200 nA 

电子枪 浸没式肖特基场发射电子枪 

透镜系统 聚光镜（CL）、  Z 佳光阑角控制镜（ACL）、  半浸没式物镜（OL） 

样品台 全对中测角样品台、5轴马达驱动 

电子检测器系列 高位检测器、　r‐过滤器　内置、  低位检测器 

自动功能 自动聚焦、自动消象散、自动亮度/衬度调节 

图像观察用

液晶显示器 屏幕尺寸 23英寸宽屏

 分辨率　1,920 × 1,080像素 

抽真空系统 电子枪室／中间室　SIP 离子泵

样品室　TMP 分子泵