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来源：
上海昊量光电设备有限公司时间：
2023-11-13类型：
仪器操作与维护查看：
83CNI v3.0纳米压印机是一款即插即用的桌面紧凑型的纳米压印工具，可以进行UV和热纳米压印，也可以进行UV和热纳米联合压印！能够轻松复制从小于40 nm的结构复制到大于100µm的结构结构；压印尺寸为4inch或8inch晶圆；热压印温度高达250℃，温度精度±1℃；对于紫外压印模块，UV LED具有温度监控和过热保护功能，峰值波长365nm或405nm；对于365nm LED，输出< 10%的峰值在波长小于355 nm或大于385 nm； UV光功率覆盖全部腔体>最大功率的10%；4颗UV LED，综合光功率11.6 W，100 mW/cm2；压印腔室可抽真空至1mbar，纳米压印压力范围0.3-11bar；压印腔室高度为最高可达45mm。
