LSC-5000型双系统全自动无损兆声单晶圆FSI清洗及刻蚀

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  NANO-MASTER设计生产的LSC-5000型双系统全自动无损兆声单晶圆FSI清洗及刻蚀清洗机（背面多晶去除），集成了2个Cassette的机械手全自动上下片功能、去离子水清洗、兆声清洗 、化学液清洗、PVA软刷清洗、远程自动加液、氮气甩干及红外灯烘干等功能于一身的干进干出一体化系统。

  
  

  下面来具体说说，集功能、智慧、美貌于一身的“大白”有哪些显著优势

  兆声清洗能力：采用均匀兆声能量沉积。射频电源提供兆声能量，可以刻蚀清洗各种残留物、有机无机污染物、微尘颗粒、以及多晶去除等，可以支持0.18um~0.13um的IC工艺应用。兆声能量通过脉冲喷嘴传递到晶圆上，并通过化学液手臂径向摆动，实现均匀的兆声能量传输。另外，NANO-MASTER无损保证，在损伤阈值上的大能量均匀分布于晶圆表面，并实现无损清洗，真是太棒了！

   

  化学液手臂

  化学液类型及远程自动加液：LSC-5000可支持有机溶剂：HNO3，HF，NH4OH， H2O2，HCl 等，当然也可以根据用户需要进行配置哦，可包含*酸强碱等。远程加液槽还能实现不同试剂按照不同比例混合、化学液浓度监控、及化学液加热（可加热到70°±2℃）等功能呢！远程控制加液槽配套兆声流量计、气动阀门和液位传感器，可以实现远程全自动冲洗和加液。另外还有个贴心的小设计——化学液的分配喷嘴配套回吸阀，可以防止液体滴漏。不得不说，NANO-MASTER的设计实在太暖又太有实力了，可以省好多人力呢！

  PVA刷子清洗：作为一名专业的晶圆清洗机，刷子的作用当然也是不容小觑的，“大白”拥有的是PVA超软无损刷，支持旋转清洗，转速可达400RPM哦！PVA刷子可以清洁晶圆上的污点，同时它还具有自洁能力，所清洗的污染物不会黏附在PVA刷上。在清洗机休息时，还能实现去离子水定时湿润。保证让你在使用“大白”时没有一点后顾之忧~

  干燥甩干：晶圆清洗完后颗粒回覆怎么办？“大白”可以实现旋转甩干，转速可达2000RPM，另外还可实现全自动红外灯加热、氮气吹扫DIW等。

  机械手自动上下片：“大白”的亮点之一，是她包含2个Cassette的机械手全自动上下载片功能，其中一个用于待刻蚀清洗的晶圆，另一个用于已处理完成的晶圆。机械手臂完成工艺后可以准确回归到起始位置，且与刻蚀手臂拥有碰撞互锁功能。

   

  自动机械臂

  友好的控制系统：整个上下片功能、清洗工艺、远程加液系统均通过计算机全自动控制，具有高度的可重复性。配套Labview软件，可以提供友好的操作界面，系统支持不限数量的菜单，每一个菜单可以支持1-100个工艺步骤，可以提供大的工艺弹性。同时，系统提供三级密码保护的用户访问权限，可以实现不同的分级应用。

  

  控制屏幕

  外观体型：这次为771量身定制的“大白”在体型上分为4大模块：单晶圆FSI清洗系统、兆声刻蚀及清洗系统（背面多晶去除）、机械手全自动上下片、远程自动加液系统。这么多高大上的配置，这么丰富的功能，而“大白”的占地面积却不足15平米！不足15平米！这对实验室面积原本就很局促的大学、研究院而言，简直就是福音啊！这样紧凑精致的设计实在集合了NANO-MASTER很多工程师的智慧呢！另外大白的骨架为不锈钢304材料，骨架外包采用防腐蚀的PVC材质。所有的液体气体管路等都采用防酸防腐蚀材料，保证您用的放心。

  

  设备外观示意图

  应用广泛：NANO-MASTER设计的LSC-5000型全自动晶圆清洗机应用实在广泛，可实现以下清洗、剥离、去胶、显影、刻蚀等：

  ✔硅晶片清洗及背面多晶去除

  ✔蓝宝石晶片

  ✔FSI 清洗

  ✔晶片框架上的芯片

  ✔显示面板

  ✔ITO 涂覆的显示屏

  ✔带图案/不带图案的掩模版

  ✔掩模版基板

  ✔带保护膜的分划版

  ✔接触式掩模版

  尽管提出您的需求，NANO-MASTER专业的工程师可根据用户的需求特别定制！我们竭力为您提供专业、满意、周到的产品和技术服务哦！