预算230万元 清华大学采购12寸全自动探针台

　　近日，清华大学就12寸全自动探针台进行公开招标，招标项目的潜在投标人应在http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2024年04月09日 09点开标。

　　一、项目基本情况

　　项目编号：清设招第20240027号

　　项目名称：12寸全自动探针台

　　采购需求：

　　12寸全自动探针台采购1套，用于半导体晶圆测试系统，预算金额：230万元，允许进口。

　　简要技术指标 ：

　　★测试温度范围： -55℃~150℃

　　★测试温度精度：±1℃

　　★可测晶圆尺寸容量：8吋、12吋 (200mm and 300mm)

　　可接受的管芯大小：350um~100,000um

　　▲系统总体精度：±1.5 um

　　★X轴、Y轴的精度：±1.5um

　　X轴、Y轴的最小移动量：1um

　　X轴、Y轴分辨率：<0.005 um

　　▲X轴、Y轴 probing area: ±175mm

　　★Z轴精度：±1.5 um

　　Z轴分辨率： 0.011 um

　　Z轴速率： 50 mm/sec

　　▲Z轴承载力: >= 400kg

　　q轴调节范围 ： ±5°

　　q轴分辨率: 0.0002°

　　CHUCK的平坦度: <15um

　　清针台的平坦度: <20um

　　可以对接测试机T5830SSTH

　　▲支持TSK, TEL的map格式

　　▲支持TSK, TEL的GPIB通信协议

　　合同履行期限：90天

　　本项目( 不接受 )联合体投标。

　　二、获取招标文件

　　时间：2024年03月14日 至 2024年03月21日，每天上午8:00至12:00，下午13:00至16:30。(北京时间，法定节假日除外)

　　地点：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn

　　方式：本项目招标文件网上发售，潜在投标人在线提供申请材料，经审核通过后获取电子版招标文件。

　　售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

　　三、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

　　提交投标文件截止时间：2024年04月09日 09点00分(北京时间);

　　开标时间：2024年04月09日 09点00分(北京时间);

　　地点：北京市海淀区清华大学华业大厦实验室管理处1区5层第一评标室(清华大学东南门东侧，无须办理入校手续)。

　　四、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

　　1.采购人信息

　　名 称：清华大学

　　地址：北京市海淀区清华园

　　联系方式：王琦62771946

　　2.项目联系方式

　　项目联系人：王琦

　　电　话：62771946