GIB 精修离子束系统

文档简介Technoorg Linda 的低能氩离子枪（GIB） 适用于表面减薄、其他表面处理后的后处理、清洁以及去除无定形和氧 化物表面层。 当低能氩离子枪集成到扫描电镜中时 ，其作用尤为明显。有了集成离子枪 ，就可以在研究之前对样品 进行精修。 实现高质量样品的另一个重要应用是在双束 SEM / FIB 系统中进行 FIB 样品制备后，对 TEM 样品进行最 终抛光和温和的表面清洁。