无机材料之结构分析

文档简介对于无机材料来说，经常会碰到同分异构的情况。但是仅仅通过扫描电镜和能谱，我
们只能得到形貌和成分数据，而没有办法对样品进行准确的结构分析。而结构作为物质的
基本特性，极大的影响着热、力、光、电、磁等性能，因此也是微区表征不容忽视的方面。
而目前在 SEM 系统中，能够进行结构表征的也只有 EBSD，但是前提依然是要有严格的
样品制备，局限性很大。