四探针电阻率测试仪DK32-KDY-4

文档简介四探针电阻率测试仪DK32-KDY-4DK32-KDY-4型四探针电阻率测试仪严格按照硅片电阻率测量的国际标准（ASTMF84）及国家标准设计制造，并针对目前常用的四探针电阻率测试仪存在的问题加以改进。整套仪器有如下特点：1、配有双数字表：一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时，另一块数字表适时监测全过程中的电流变化，使操作更简便，测量更极ng确。数字电压表量程：0199.9mV灵敏度：100μV输入阻抗：1000ΜΩ基本误差±（0.4-0.5%读数+0.1%满度）2、可测电阻率范围：1031.9×103Ωcm。可测方块电阻范围：1021.9×104Ω/□。3、设有电压表自动复零功能，当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时，电压表指零，只有1、4探针接触到硅片，测量电流渡过单晶时，电压表才指示2、3探针间的电压（即电阻率）值，避免空间杂散电波对测量的干扰。4、流经硅片的测量电流由高度稳定（万分之五精度）的特制恒流源提供，不受气候条件的影响，整机测量精度＜3%。电流量程分五档：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。5、仪器采用触点电阻更低（＜5mΩ）、使用寿命更长的转换开头及继电器（＞10万次），在绝缘电阻、电流容量方面留有更大的安全系数，提高了测试仪的可靠性和使用寿命。6、四探针头采用国际上先进的红宝石轴套导向结构，使探针的游移率减小，测量重复性提高