四探针测试仪RTS-4说明书

文档简介四探针测试仪HR/RTS-4技　术　指　标：测量范围电阻率：0.001～200Ω.cm（可扩展）；方块电阻：0.01～2000Ω/□（可扩展）；电导率：0.005～1000s/cm；电阻：0.001～200Ω.cm；可测晶片直径140mmX150mm（配S-2A型测试台）；200mmX200mm（配S-2B型测试台）；400mmX500mm（配S-2C型测试台）；恒流源电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调数字电压表量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；输入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1%；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；四探针探头基本指标间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%；探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16牛顿（总力）；四探针探头应用参数（见探头附带的合格证）模拟电阻测量相对误差（按JJG508-87进行）0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字整机测量Zda相对误差（用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试）≤±5%整机测量标准不确定度≤5%计算机通讯接口并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5秒。连接电脑使用时带自动测量功能，自动选择适合样品测试电流量程；标准使用环境温度：23±2℃；相对湿度：≤65%；无高频干扰；无强光直射；产品关键词：四探针测试仪HR/RTS-4