石英玻璃仪器包括清洗时用的清洗槽；扩散时用的扩散管、刻槽舟；离子注入时用的钟罩等等。石英玻璃是一种只含二氧化硅单一成份的特种玻璃。由于种类、工艺、原料的不同，国外常常叫做硅酸玻璃、石英玻璃、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英，以及没有明确概念的透明、半透明、不透明石英等。

石英玻璃具有极低的热膨胀系数，高的耐温性，极好的化学稳定性，优良的电绝缘性，低而稳定的超声延迟性能，最佳的透紫外光谱性能以及透可见光及近红外光谱性能，并有着高于普通玻璃的机械性能。因此它是近代尖端技术中空间技术、原子能工业、国防装备、自动化系统，以及半导体、冶金、化工、电光源、通讯、轻工、建材等工业中不可缺少的优良材料之一。

石英玻璃多按工艺方法、用途及外观来分类，如电熔透明石英玻璃、连熔石英玻璃、气炼透明石英玻璃、合成石英玻璃、不透明石英玻璃、光学石英玻璃、半导体用石英玻璃、电光源用石英玻璃等。人们习惯于用“石英”这样一个简单的词汇来命名这种材料，这是绝对不妥的，因为“石英”是二氧化硅结晶态的一种通称，它与玻璃态二氧化硅在理化性质上是有区别的。

实验室中大量使用玻璃仪器，因为玻璃有很好的透明度、一定的机械强度和良好的绝缘性能，有很高的化学稳定性、热稳定性。利用玻璃的优良性能而制成的玻璃仪器，广泛地应用于各种实验室，如医学检验实验室、化学实验室、生物实验室、科学研究实验室以及教学实验室。

玻璃的化学稳定性好，但并不是绝对不受侵蚀，而是其受侵蚀的程度符合一定的标准。因玻璃被侵蚀而又痕量离子进入溶液中和玻璃表面吸附溶液中的待测分析离子，是微量分析要注意的问题。氢氟酸很强烈地腐蚀玻璃，故不能用玻璃仪器进行含有氢氟酸的实验。因此玻璃容器不能长时间存放碱液，储存碱液的玻璃仪器如果是磨口仪器还会是磨口粘在一起无法打开，碱液特别是浓的或热的碱液队玻璃明显地腐蚀。

玻璃仪器生产发展方向为电助炉和全电熔炉、大量使用白金等贵金属、计算机控制的灵活柔性生产线，以满足科学发展的需要。

耐化学试剂及耐溶剂性有机玻璃。聚甲基丙烯酸甲酯可耐较稀的无机酸，但浓的无机酸可使它侵蚀，可耐碱类，但温热的氢氧化钠、氢氧化钾可使它浸蚀，可耐盐类和油脂类，耐脂肪烃类，不溶于水、甲醇、甘油等，但可吸收醇类溶胀，并产生应力开裂，不耐酮类、氯代烃和芳烃。它的溶解度参数约为18.8(J/CM3)1/2 ，在许多氯代烃和芳烃中可以溶解，如二氯乙烷、三氯乙烯、氯仿、甲苯等，乙酸乙烯和丙酮也可以使它溶解。

聚甲基丙烯酸甲酯对臭氧和二氧化硫等气体具有良好的抵抗能力。

耐候性有机玻璃。聚甲基丙烯酸甲酯有机玻璃仪器具有优异的耐大气老化性，其试样经4年自然老化试验，重量变化，拉伸强度、透光率略有下降，色泽略有泛黄，抗银纹性下降较明显，冲击强度还略有提高，其它物理性能几乎未变化。

燃烧性有机玻璃。聚甲基丙烯酸甲酯很容易燃烧，极限氧指数仅17.3。