影像测量仪上的测量均是单轴或二维平面坐标的测量，测量时先对焦，后对准，再读数(计数)，Z后计算处理。读数来自于标尺即光栅系统，对焦对准依靠显微镜光学系统，还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源，因为基于影像方法测量的仪器如果被测件不能被有效正确的照明，则测量的结果显然要偏离其真实尺寸。

除上述因素外，环境条件也是制约测量精度不可忽视的因素。基于上述分析，可以归纳出以下几个方面的误差来源:

1)光栅计数尺的误差；

2)工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差； 

3)工作台两测量轴垂直度带了的误差；

4)显微镜光轴与工作台面不垂直带了的误差； 

5)测量室温度带来的误差；

6)光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。

在这几种因素中,前四项误差是硬件误差，在仪器制造过程中已经形成并固定下来，一般无法改变。温度影响带来的误差，必须通过控制测量室的温度和等温过程来减小其影响。

Z后一项则常被忽视，而在实际测量中，当光源照明条件改变时，直接影响被测工件的照明效果和影像质量，主要是因为影像测量仪的图像是通过CCD接收，尽管CCD具有自动调节增益的功能，但当亮度过大时即失去调节功能导致被测工件影像在缩小，当亮度过低时，工件影像反而变大。

这种影响对于测量具有重复图形结构之间的间距时，只要整个测量过程中照明条件保持不变，其影响可以忽略，因为每个重复图形结构都同时在变大或变小，间距的测量计算直接消除了影像变形的影响，如测量玻璃尺、网格板刻线间距；除了这种特殊情形外，如测量圆的直径、工件的长度和宽度都将带来明显的误差。