台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。根据使用传感器的不同,接触式台阶测量可以分为光电式、电感式和压电式三种。今天就给大家介绍下台阶仪的特点。
台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好,此外它还可以作为其它形貌测量技术的比对。但是也有其难以克服的缺点:
1由于测头与测件相接触造成的测头变形和磨损,使仪器在使用一段时间后测量精度下降;
2测头为了保证耐磨性和刚性而不能做得非常细小尖锐,如果测头头部曲率半径大于被测表面上微观凹坑的半径必然造成该处测量数据的偏差;
3为使测头不至于很快磨损,测头的硬度一般都很高,因此不适于精密零件及软质表面的测量。