微透镜的大视野3D成像

微透镜

(a) 为微透镜的大视野3D图像，通过hitachi MAP 3D 将多张3D 图像拼接而成。

(b) 为（a）中红框部分的形貌像。通过颜色标尺很容易确定高度信息。

(c)(d)是提取的图.1(b)中划线区域的结果，可以获得每个透镜（箭头 0-1, 2-3）的水平距离、垂直高度以及顶部和底部的角度。

所以，使用Hitachi Map 3D可以获得大视野3D图像和截面轮廓信息。

(a)拼接后的3D图像(x2k), (b)红框内的形貌图

（c）(b)中划线区域的截面

观察机型：FlexSEM1000 

观察条件：5 kV, 2000倍, 30Pa 软件：Hitachi Map 3D

Material

【大视野3D观察】

FlexSEM1000