微区成分分析为什么这么慢？

当今学术实验室使用扫描电子显微镜（SEM）和能量色散X射线光谱仪（EDS）进行材料分析，希望快速获得可靠结果。通过使用户能够快速、轻松地获取所需数据，高校可以减少用户培训，服务更多研究人员，加快研究成果，并确保仪器投资可同时满足未来需求。

然而，直到最近，大家仍然觉得SEM-EDS微区成分分析比较困难，而且有些复杂。获得结构数据后，如果还需要元素数据，研究人员就要在不同电脑、软件和用户界面之间进行切换操作。这样不仅效率低下，而且操作非常复杂。实验室管理人员也需要花费大量的时间，对操作者进行SEM和EDS两种不同的技术以及不同软件的培训。

如果所用系统中集成EDS微区成分分析和ColorSEM技术，那么研究人员在操作时就可以节省许多步骤。元素数据可以直接从SEM图像中获取，从而省去了设置时间，也无需在两个不同的系统之间切换。而且，在获得结构数据的同时，ColorSEM始终处于工作状态，实时采集元素数据。研究人员只需单击图像即可获得所需的成分数据。与传统EDS分析相比，集成ColorSEM技术的EDS分析速度提高了一倍，从而大大提高了学术实验室的工作效率。

将EDS分析与ColorSEM技术集成在一起，可省去EDS工作流程中的一些步骤，元素信息的获取速度是传统EDS的两倍。

EDS 集成ColorSEM技术不仅拥有快速和易用性优势，同时也有诸多益处。首先，EDS集成ColorSEM技术比传统EDS具有更高的成本效益。不需要再配置两套系统，运营费用降低。所需培训时间缩短，从而节约资金，也可供更多人使用。实验室的处理能力得到提高，不用再依赖于大型、昂贵的EDS探测器。

铜镍锌（Cu-Ni-Zn）合金前驱体分析。左图为SEM黑白图像，因为背散射衬度差异很小，很难区分出不同的材料。右图为ColorSEM图像，每种元素呈现为不同的颜色，因而易于区分出样品中的所有材料。这一信息对于点分析工作流程而言至关重要，可用于选择相关点位作进一步分析。

其次，与传统SEM或EDS图像相比，EDS集成ColorSEM技术能够提供更多信息。SEM生成的是灰阶成分衬度图像，可能很难显示出图像的不同部分是否一样。相比之下，ColorSEM将元素标识为不同的颜色。通过单击每种颜色，用户可以快速确定样品的元素组成。

硫化锑（SbS）基体上的氧化钼（MoO）分析。左图为使用传统的EDS分析，很难将两种材料的空间分布与样品的特征相匹配。右图为ColorSEM图像，采用的是基于形态进行图像分割的技术，其分析结果比传统EDS更加精确。此外，ColorSEM考虑到钼元素和硫元素的 X射线谱峰重叠情况，能够准确分析具有挑战性的样品。

与传统的EDS不同，EDS 集成ColorSEM技术还可基于形态进行图像分割，为研究人员提供有关特定元素分布的更准确信息。人眼使用棒状和锥形来检测图像的轮廓和颜色，ColorSEM系统也采用同样的方法，识别形状并赋予不同的颜色。获得各种元素分布的准确数据后，研究人员就可以更为轻松地解答材料失效及污染程度等问题了。

对于日程繁忙的学术实验室而言，SEM-EDS工作流程非常关键，而EDS集成ColorSEM技术可极大简化该工作流程，也可满足更多使用者的分析需求。SEM-EDS技术将变得像SEM成像一样快速和直观，采用该技术可以帮助高校增强其科研项目并提升卓 越声誉。

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