激光粒度仪测量粒度的原理是米氏散射理论。米氏散射理论用数学语言精确描述折射率为 n、吸收率为 m、粒径为 d 的球形颗粒,在波长为 λ 的激光照射下,散射光强度随散射角 θ 变化的空间分布函数,此函数也称为散射谱。根据米氏散射理论,大颗粒的前向散射光很强而后向散射很弱;小颗粒的前向散射光弱而后向散射光很强。如图所示的是固定波长下的大、中、小颗粒的散射谱示意图。
激光粒度仪正是通过设置在不同散射角度的光电探测器阵列测试这些散射谱来确定颗粒粒径的大小。对于特定颗粒,这种散射谱在空间具有稳定分布的特征,因此称此种原理的激光粒度仪又称为静态激光粒度仪。根据米氏散射理论,当颗粒粒径小到一定程度(如小于波长 的 1/10 左右)时,光强分布变成了两个相近似对称的圆(图 1(1) d<<λ),此时称为瑞利散射。产生瑞利散射的Z大粒径就是激光粒度仪的测试下限。激光粒度仪的测试下限还与激光波长有关,激光波长越长测试下限越大,波长越短测试下限越小。研究表明,具有同时测量前向和后向散射光技术,同时具有差分散射谱识别技术的激光粒度仪,在用红光(波长为 635nm)做为光源时的测量极限为 20nm,用绿光(波长为 532nm)时的测量极限为 10 nm。