质量流量控制器里面的密封材料能更换吗

您好，这个使用的时候没有什么特别注意事项，大概有这么几点需要注意吧 1，如果是热式原理的，控制气体流量之前，先上电，预热10分钟左右Z好。
2，前面加减压阀，以控制MFC电磁阀工作的压差。后面加截止阀防止漏气。 3，气体介质里不能还有太多。