电子束的束斑大小怎么影响扫描电子显微镜的分辨率

一般来说，束斑小的分辨率高。但束斑小相应的束流也小，转化为成像信号的电子也少，而统计噪音是固定的。当信号值低于噪音的3倍时，将无法识别信号代表的信息。信噪比是限制成像分辨率的一个重要基本因素。
特殊情况也有大束斑分辨率高的，例如100倍，用Z大束斑，就比Z小束斑分辨率高。因为在相同的扫描区域，Z小的束斑扫描步距太大，很多地方漏扫了，看起来图像边缘轮廓反而很差。

因此束斑尺寸和放大倍数协调才会获得Z佳分辨率。