扫描透射电镜(STEM)有哪些特点

STEM是既有透射电子显微镜又有扫描电子显微镜的显微镜。象SEM一样，STEM用电子束在样品的表面扫描，但又象TEM，通过电子穿透样品成像。STEM能够获得TEM所不能获得的一些关于样品的特殊信息。STEM技术要求较高，要非常高的真空度，并且电子学系统比TEM和SEM都要复杂。

优点
　　1. 利用扫描透射电子显微镜可以观察较厚的试样和低衬度的试样。
　　2. 利用扫描透射模式时物镜的强激励，可以实现微区衍射。
　　3. 利用后接能量分析器的方法可以分别收集和处理弹性散射和非弹性散射电子。

透射电镜(TEM)和扫描透射电镜(STEM)都是使用电子束使样品成像的相关技术。使用高能电子作用于超薄样本使成像分辨率达1-2埃的数量级。与SEM相比，TEM具有更好的空间分辨率，更适用于若干分析测量。但需要多得多的样品准备. 虽然比大多数其他常见分析工具更费时，但是这些实验的宝贵信息是令人赞叹的。 你不仅可以取得优异图像分辨率、结晶状态、晶向(都以衍射实验模式)、元素图(使用EDS)、突出元素对比度的图象 (暗场模式)-所有这些都来自可精确定位的纳米尺寸大小的面积。STEM和TEM可以作为薄膜及IC样品的Z终失效分析工具。