扫描电镜主要观察表面形貌(二次电子像),还可以得到反映成份信息的背散射电子像。扫描电镜还可以接一些附件,如EDS进行元素成份分析;EBDS进行晶体结构分析等等。
透射电子显微镜分辨率比扫描电镜高(如扫描电镜Z高1nm,透射电镜0.2nm甚至更高),主要可以进行内部形貌观察,晶体结构分析,特别是微区(微米、纳米)的像观察和结构分析,可以得到原子尺度的像。如配备一定附件,如EDS进行微区元素成份分析,STEM可以得到更容易解释的像,EELS可以进行化学状态分析等等 。
通俗的说
扫描电镜是相当与对物体的照相,得到的是表面的"只是表面的立体三维的图象",因为扫描的原理是“感知”那些物提被电子束攻击后发出的此级电子;
而透射电镜就相当于普通显微镜,只是用波长更短的电子束替代了会发生衍射的可见光,从而实现了显微,是二维的图象,会看到表面的图象的同时也看到内层物质,就像我们拍的X光片似的,内脏骨骼什么的都重叠着显现出来。
总的来说就是透射能看见内部,扫描是不能看见内部,只局限与表面。
另外,从样品制备和观察操作来讲,SEM较易。但TEM比SEM可以看到更为精细的结构!