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离子减薄仪

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离子减薄仪应属于离子束加工的范畴。其方法是用高能离子束轰击样品表面、高能离子与样品表面原子发生弹性碰撞、样品表面原子能量增大至高于该原子的逸出功时,便飞离样品,这样就使样品表面不断失去原子——减薄。通常都是用双枪从样品两侧轰击。样品随着支架旋转,使离子束轰击均匀。离子束的强度呈钟形分布,中心最强。最后在样品中心出现穿孔。在孔的周围有一圈楔形薄区可在透射电子显微镜中观察。一般由下述几部分组成:1、样品室;2、真空系统;3、供电及控制系统;4、照明及监视系统。离子减薄过程必须在真空状态下进行,离子减薄技术将在地矿和骨科研究领域得到更广范的应用,从而带动透射显微学在上术领域得到更大的发展.

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