电容微位移传感器的精度可以达到10nm以内吗？

看你说的精度指的是什么概念了，如果是误差，基本达不到。以德国米铱capa6530为例，其误差可以达到0.1微米，分辨率可以达到0.0375纳米。分辨率指的是能产生输出变化的Z小位移量变化。