机械加工装置位移传感器的有哪些

光栅，激光的位移传感器建议去找找。机械式的很难做到纳米级别似乎没有，Z多就是微位移传感器。纳米是一种单位，你是要精确度能达到纳米级别吧，电涡流，有也不会叫做纳米传感器