激光位移传感器的精度Z高可以达到多少？

激光位移传感器中的高精度型号要数ZLDS113了，精密激光位移传感器ZLDS113采用新型设计，结构紧凑、小巧轻便。有更高的性能指标：1μm的分辨率，3μm的线性度。激光位移传感器拥有同步测厚功能，不需要额外的控制器和校准设备，可直接将两台传感器连接起来组成测厚仪。同时，ZLDS113也可用于高温物体的测量。

optoNCDT 2300 能到0.6 um， 在高就要用光谱共焦式的了

激光位移传感器Z高精度可以做到微米。
这样可以么？

ZLDS/N-100具有100微米的量程和15纳米的分辨率，是一款非接触式高精度光学位移传感器。