电涡流位移传感器的测量特性是根据被测物特性改变的,因此为了达到Z佳的测量精度,需要将探头与被测物一一校准。具体的校准法因产品不同而不同。以德国米铱eddyNCDT3010为例,需要准备一个精密位移台,一个更高精度的传感器,如高精度光栅尺作为真值参考。将被测物分别置于电涡流传感器的起点,中点和末点,将传感器控制器打开后,会看到三个旋钮,根据光栅尺的输出,将电涡流传感器尽量调整到接近光栅尺输出。三个旋钮会彼此影响,因此需要反复调整。基本上就是将整个线性量程上取三个关键点,使其接近真实值,从而提高整体精度。其他型号的电涡流传感器未必有类似的校准方式,需要具体看哪家的传感器。希望有帮助。