电容位移传感器的测量原理是探头作为电容的一个极板,被测物体作为另外一个极板。测量由于距离变化带来的电容介电常数的变化,从而换算成位移量。
由于其具有极高精度和稳定性,其可以被广泛应用于需要极高精度的测量领域,例如测量半导体移动部件的位移量,测量精密部件的厚度和尺寸,航空航天中的位移检测等等。
于此同时,源于其测量原理,要求探头到被测物体间的间隙不能有污染物的存在,如水,油污,灰尘等,否则会直接影响测量结果。
除了测量导体被测物体,电容传感器也可以测量绝缘体被测物体,例如塑料薄膜的厚度。
具体你可以参考德国米铱的主页,他们有不少电容位移传感器的实际应用案例,希望有帮助。
德国米铱电容位移传感器原理结构图