用椭偏仪测薄膜的厚度和折射率时，对角度有何要求

会。纳米级的薄膜会有纳米尺寸效应，导致材料性质大变。折射率会变，我看过一篇文献，讲的大致内容是椭偏仪测金属薄膜厚度（<50纳米），虽然能测，但是测不准，因为纳米级金属材料折射率随尺寸影响，你可以去查查。至于消光系数，本人是控制专业的，隔行如隔山，就不知道了!