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请问如何用椭偏仪测量氧化硅的折射率？

海健_老涌 2013-11-04
列为高人，请问如何用椭偏仪测量氧化硅的折射率？其原理是什么？为什么椭偏仪不能测量厚度大于200纳米的氧化硅？？小弟正在困惑中。。。。。。。... 列为高人，请问如何用椭偏仪测量氧化硅的折射率？其原理是什么？为什么椭偏仪不能测量厚度大于200纳米的氧化硅？？小弟正在困惑中。。。。。。。
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hdbdmxJicnsnZn
我只有一本关于椭偏原理的书，关于如何测量折射率，这要看生产厂家提没提供这项功能，你用的是谁家的机台？我说一种方法吧，如果是光谱式的话，需要测量折射率的那一膜层可以用柯西色散模式建模型，这样可以将每一波长对应的折射率以及K值求出来。所以我想问下你用的是哪一家的
15 0 2013-11-05 0条评论 回复
13934911355mxl
我有一个关于你问题的资料，如果想要，可以站短
11 0 2013-11-05 0条评论 回复
书生漫画作品
椭偏仪方面的paper很多，反射膜厚仪方面的几乎没有，很奇怪！
12 0 2013-11-05 0条评论 回复
YangjunlLiu
椭偏仪可以测试多晶硅的膜厚和折射率吗？怎么测试。我们现在的一台好像只有测试SIN和SIO2的功能，哪位达人指教一下呢？
2 0 2013-11-05 0条评论 回复
pisces611
引用:原帖由 JJ_2ic 于 2008-7-18 09:39 发表 楼主还是找一些椭偏的资料看看吧，椭偏的技术方式比较多，但总的来说，反射光的光强和位相在经薄膜反射后都会改变，我们知道，位相的改变是非常敏感的，所以椭偏能够达到反射式测量达不到的精度。但椭偏有一个问题， ...
2 0 2013-11-05 0条评论 回复
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