40KHz与13.56MHz之间的差别
40KHz等离子体在能量转化方面优于13.56MHz,前者将更多的能量转化为粒子动能及化学活性,后者在等离子处理过程中产生的热量比较多,也就是其中很多能量转化为了热能,所以就降低了粒子的动能及化学活性。处理的效果就会不理想,或者是需要加特殊气体和增加处理时间等等,我们的设备很多时候用空气处理就能达到要求的效果,这是很多其他同类设备无法达到的。13.56MHz等离子体电场中的频率振荡较高,相对于40KHz射频等离子而言电子在转变方向之前的运动距离更短。这意味着在每个运动周期中能够到达器件表面的粒子数量更少,因此表面受到粒子撞击减少,从而降低了清洗的效率和效果,直接影响产品质量和产量。40KHz射频等离子体是Z广泛使用和通用性好的等离子体技术,它应用于半导体、微电子、YL和通用工业的宽广领域内。在通用工业、半导体、微电子、YL行业,需要清洁、涂覆或化学改性的材料表面被浸入到射频等离子体的能量环境中,除了40KHz射频等离子体的强烈的化学作用外,其携带动量的粒子到达材料表面后可以物理地去除更加化学惰性的表面沉淀物(如金属氧化物和其它无机物沉淀)以及交联聚合物以达到清洁、活化目的。
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