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等离子体表面处理仪有哪些?

鹏哥19760619 2017-06-18
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恩典控丶轩间
等离子体表面处理仪是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态,利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。
6 0 2017-06-19 0条评论 回复
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