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如何用DBD方式产生等离子体而不产生臭氧

90cassic 2012-05-29

可能不行，但产生高密度等离子体时，尽可能少产生臭氧有什么方法吗？谢谢！

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在真空环境下对工作气体放电，如果没有真空环境的话就尽量调低电压，使用惰性气体作为工作气体并且尽量提高它的流量...

16 0 2012-05-30 0条评论回复

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