如何对薄膜厚度，结构，微观形貌及成份进行测试

XRD、SEM和AFM测试没有固定的先后顺序。1XRD（X-raydiffraction）是用来获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构。2SEM（扫描电子显微镜）是一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。3AFM（原子力显微镜