EDS能分析表面的元素组成吗

X射线能量分散谱仪（简称能谱仪或EDS）
能谱仪可应用于微区成分分析和样品中元素的点分析、线分析、面分析。能谱仪与波谱仪类似，也有点分析、线分析、面分析三种分析方式，作用与波谱仪类似，但分析速度比波谱仪快的多，其缺点是其分辨率较波谱仪稍差，常有相邻谱峰的重叠现象，使元素分析发生困难。