半导体行业icp-ms用哪些合适

　　ICPMS是用来分析元素的质谱仪 ICPOES是用来分析元素的发射光谱仪。
　　区别1：ICPMS用质谱作为检测器，而ICPOES用的是CCD检测器（原理不同） 区别2：ICPMS的检出限通常要比ICPOES低