真空式传感器的工作原理？

热传导：通过电阻丝在不同压力下呈现的不同阻值，来间接测量真空度的；
隔膜：压力不同下膜片的位移变化来测量真空度的；
热阴极：通过离子流在不同压力下得大小变化来测量真空度的；
冷阴极：通过在磁场和高压共同作用下产生的放电电流，随着压力不同而变化的。
现在工业上用的Z多的就是这4种