pvd镀膜的厚度的测量方法有哪些？具体设备？

1.台阶仪
2.透射光谱法----分光光度计
3.椭篇仪
4.XRD小角衍射
5.AFM三维形貌
6.质量法----超微量天平

1.在线膜厚监控法
2.无损检验法
3.破坏法
说点实际的吧：用的Z多的还是台阶仪吧，我公司就是。比较简单，方便。如果想节约成本，用球磨仪打磨后测量，计算厚度

游标卡尺！