国内有人在使用SIMS（次级离子质谱仪）吗？

当然有人在用，先纠正你一下，SIMS 全称是 secondary ion mass spectrometry
SIMS是质谱中的一种，适合用于表面分析，尤其在半导体表面分析、地质勘探等领域广泛使用。
介绍一下SIMS原理: 通过具有一定能量的一次离子束轰击待分析样品表面，样品表面的分子发生溅射得到二次离子。随后，E二次离子通过萃取电极进入质量分析器分离后到达检测器，Z终得到样品的质谱图。