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质量流量计失效有哪些,该如何解决?
差16
2015-05-17
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全部评论
sunlinecard
是气体质量流量控制器吗,是MFC吗?时间久了,漂移严重,可以重新校准。如果传感器坏掉,就没有办法了。
17
0
2015-05-19
0条评论
回复
zseedcx
基本上是传感器坏了,基本上是换探头。
16
0
2015-05-18
0条评论
回复
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