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质量流量控制器使用时需要注意什么因素
户名确定不修改
2017-07-23
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甘蒙57144
您好,这个使用的时候没有什么特别注意事项,大概有这么几点需要注意吧
1,如果是热式原理的,控制气体流量之前,先上电,预热10分钟左右Z好。
2,前面加减压阀,以控制MFC电磁阀工作的压差。后面加截止阀防止漏气。
3,气体介质里不能还有太多的脏污,水分
可以参考Dmass气体质量流量控制器10SCCM-3000SLM 量程比100:1
11
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2017-07-24
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