17cm离子源有那些因素影响薄膜

Z多的可能性是 短路。解决问题的流程如下，如果不行就找供应商。 1，首先抽真空，本底真空要够，不知道你的设备的推荐值是多少，一般都要到10-2Pa，然后充气，你用的是氧气 还是氩气还是其他气体，这个时候如果无法起辉