真空蒸发式镀膜什么是粗抽和细抽?

不知道你用的是不是扩散泵 如果是 初抽就是没有开扩散泵的时候的抽气过程，细抽开扩散泵后的抽气过程， 初抽是细抽的一个前级过程。用其他的泵也是一样的道理。

一般蒸发镀膜的工作压强在10-3Pa以下，从大气抽到1Pa左右为粗抽，一般用罗兹泵和机械泵机组抽；从1Pa左右抽到10-3以下为细抽，一般用扩散泵（或其他高真空获得泵）加粗抽机组为前级抽。