镀膜机真空抽不动一直反复回压

有地方漏气！

1，机台刚清洗，是用120号汽油吗？那里会残留的油脂也很难抽
2，用检漏仪，如果是否不漏气，
3，有高真空阀的话，你就有扩散泵，a，扩散泵的油是否氧化。b，扩散泵油是否多了（由机械泵RP返进去的），扩散泵油是否少了，循环水不好，油损耗掉了。
4，机械泵（RP)油该换了。

直接原因是有胶圈密封的地方漏气，胶圈的泄露是间歇性的，所以真空度会反复。
泄露量不大，可以用检漏仪捡漏。
如果没有检漏仪，可以再高真提下，用注射器向拆装过的胶圈处滴酒精，如果有漏点，真空度会有很大的变化，仔细找，这个方法很好用，一般人我不告诉。
水冷部件也可能向真空室漏水
检漏完成后，加热，烘烤几个小时，温度在100-200°C之间，需要水冷的部件保持水冷。